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1、预热式。 预热式是催化燃烧的基本的流程形式，光氧废气处理设备，有机废气温度在100℃以下、浓度也较低时，仙桃废气处理设备，热量不能自给，因此在进入反应器前需要在预热室加热升温。通常采用煤气或电加热将废气升温至催化反应所需的起燃温度；燃烧净化后的气体在热交换器内与未处理的废气进行热交换，以回收部分热量。  2、自身热平衡式。  有机废气温度高且有机物含量较高，通常只需要在催化燃烧反应器中设置电加热器供起燃时使用，通过热交换器回收部分净化气体所产生的热量，正常操作下就能够维持热平衡，不需要补充热量。

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尾气吸收塔是实现吸收操作的设备。按气液相接触形态分为三类。

类是气体以气泡形态分散在液相中的板式塔、鼓泡吸收塔、搅拌鼓泡吸收塔;

第二类是液体以液滴状分散在气相中的喷射器、文氏管、喷雾塔;

第三类为液体以膜状运动与气相进行接触的填料吸收塔和降膜吸收塔。